| 用于观察样品切面的扫描电镜样品台及扫描电镜 |
| CN202221478692.7 2022-6-14 实用新型 |
| 2022-7-19 |
| 本实用新型提供一种用于观察样品切面的扫描电镜样品台及扫描电镜，包括：具有导电性的基台，所述基台为圆片状结构，具有用于放置样品的上表面；具有导电性的检测部件，设置在所述基台的上表面，所述检测部件具有至少一个与所述基台的上表面垂直的第一平面，所述样品的切面能够贴附于所述第一平面。通过本实用新型提供的扫描电镜样品台，能够方便对芯片样品进行固定，保证样品切面与样品台的有效接触，提高观测效果。 |
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