| 基于金刚石量子传感的扫描磁探测显微镜 |
| CN202110032848.2 2021-1-11 发明申请 |
| 2022-7-15 |
| 一种基于金刚石量子传感的真空扫描磁探测显微镜，该真空扫描磁探测显微镜包括工作台、主腔体、镜体悬吊组件、扫描成像镜体单元和NV激发收集光路单元，扫描成像镜体单元包括三维双精度调节组件、物镜、样品座和探针。本发明基于金刚石量子传感的宽温区高真空扫描磁探测显微镜，将金刚石氮空位色心测磁技术与AFM(原子力显微镜)系统高度集成化，将扫描镜体的结构简化，本着紧凑型的设计原则，扫描镜体内部尽量少的占用空间，同时也尽量使其内部空间利用率达到极致，这样就使得扫描镜体刚性足够好，从而获得了一个具有高稳定性的设计，从而也降低了调节的难度，并提高了集成度。 |
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