| 光学显微镜用底座机构以及光学显微镜 |
| CN202123299960.7 2021-12-24 实用新型 |
| 2022-7-15 |
| 本申请涉及芯片加工技术领域，具体涉及一种光学显微镜用底座机构以及光学显微镜，该底座机构具体包括：支撑架，其中一个壁面设置有具有可变量程的光栅检测组件；底座本体，可升降安装于所述支撑架的一侧，底座本体的其中一端凸设有与光栅检测组件相配合的读数头；以及第一位置检测组件，通过支撑杆安装于底座本体一侧，且与底座本体之间存在间隙；综上所述，采用本申请的设计可以保证已完成检测的晶圆可以精准的放置于初始安装位内，同时配合可变量程的光栅检测组件设计可以有效避免出现跳片现象，保证检测效率。 |
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