| 流量控制器和使用该流量控制器的气相色谱装置 |
| US15854147 2017-12-26 发明申请 |
| 2019-6-27 |
| 一种流量控制器，包括设置在载气供应流道中的流道阻力， 控制阀， 压力检测部分22和压力差检测部分， 存储部，存储表示在第一设定供给压力Pin处的压力差和总流量FTEMP1之间的相关性的第一校准曲线， 提供了REF1和第二校准曲线，所述第二校准曲线指示在大于第一设定供给压力管脚REF1的第二设定供给压力管脚REF2处的压力差和总流量FTEMP2之间的相关性。 基于由压力检测部分检测到的供给压力Pin，由压力差检测部分检测到的压力差增量P信息，第一校准曲线和第二校准曲线来计算载气的总流量F。 |
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