用于扫描电子显微镜下进行原位拉伸力学性能测试的装置
 
CN202123229854.1  2021-12-21  实用新型

2022-7-12
 
  本实用新型涉及一种用于扫描电子显微镜下进行原位拉伸力学性能测试的装置,包括:拉伸试验台、控制传输机构;拉伸试验台包括燕尾槽、底座、步进电机、直线滑台、组合夹头、真空二维压电马达、力传感器、连接器、丝杆、传动扣、样品;控制传输机构包括步进电机控制盒、压电马达控制盒、密封法兰。步进电机控制盒、压电马达控制盒通过法兰连接到底座上的集成接口。所述装置设计原理简单,易于实现;步进电机配合高精度的二维压电马达用于调节和拉伸的设计有别于普通的拉伸设备,可以以极低速度稳定运动,体积更小,装配简易,易拆卸,将拉伸试验台放置在扫描电子显微镜腔体内,适用于多种尺寸材料的高精度原位拉伸的微纳米力学测试。
 
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