| 用于包括EDS的大面积样品的粒子分析的扫描电子显微镜及使用其的分析方法 |
| KR1020200187189 2020-12-30 发明申请 |
| 2022-7-7 |
| 本发明涉及一种扫描电子显微镜及其使用方法，所述扫描电子显微镜测量存在于大面积样品中的颗粒的形状和组成。 本发明具有与现有技术不同的真空排气机， 可缩短高真空到达时间，并可产生各种压力(Vp， 变压)稳定， 通过改变固定样品的结构，增大可测量面积，检测更多的特征X射线， 并且使用标准样品周期性地校准以减小成分分析误差，并且通过对台靠背和累积误差值进行校正来减小台测量误差。其优点是通过最小化样品带的移动距离可以减小测量误差。 |
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