| 阴极发光电子显微镜 |
| US17610068 2020-5-11 发明申请 |
| 2022-7-7 |
| 扫描电子显微镜，具有定位成将电子束引导到样品上的电子柱，所述电子柱具有真空外壳； 电子源； 以及位于真空外壳内的电磁物镜，该电磁物镜包括外壳，该外壳在其顶面具有入口孔，在其底面具有出口孔； 径向设置在壳体内的电磁线圈； 位于壳体内的光物镜，该光物镜包括具有第一轴向孔径的凹形副镜和具有第二轴向孔径的凸形副镜； 电子束偏转器，位于所述壳体内，并包括第一组偏转器和位于所述第一组偏转器下方的第二组偏转器，其中所述第二组偏转器位于所述第一轴向孔下方，并且所述第一组偏转器位于所述第一轴向孔下方。 |
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