| 一种高速原子力显微镜悬臂的激励方法 |
| WOEP21087287 2021-12-22 发明申请 |
| 2022-7-7 |
| 本发明涉及原子力显微镜的探针结构领域。 探针结构包括半导体芯片， 与芯片接触并留下未被金属涂层覆盖的暴露区域的金属涂层， 由所述芯片支撑的悬臂具有延伸超过所述芯片的悬臂梁部分，以及至少一个电极，所述至少一个电极电连接到所述金属涂层，使得当AC电压施加到所述电极时引起所述悬臂梁部分振动。 在本发明中，通过向电极施加AC电压而使悬臂振动。 本发明的方法，对于高速AFM特别有利，但也适用于常规AFM，允许在液体中进行成像。 本发明允许实现悬臂振动的清洁激励。 特别地，振荡幅度随所施加的激励交流信号的频率平滑地变化，并且幅度的变化完全取决于悬臂的特性和AFM尖端与样品的相互作用。 使用本发明，悬臂的振动不依赖于任何不受控制的因素。 |
微信公众号