| 扫描共焦显微镜及其调整方法 |
| WOJP21048339 2021-12-24 发明申请 |
| 2022-7-7 |
| 该扫描共焦显微镜包括:提供照明光的光源装置; 物镜光学系统,用于将照明光聚焦在对象上; 用聚焦的照明光扫描被摄体的扫描部; 成像光学系统,其聚焦由聚焦的照明光从被摄体产生的光; 检测来自成像光学系统的聚焦光的检测器; 形成用于设置检测器的光接收区域的孔径的光阑部分; 孔径控制部,其将光阑部的孔径大小设定为第一区域和孔径比第一区域大的第二区域; 测量控制部,其测量第二区域的孔径和聚焦光的相对位置。 测量控制部进行使聚焦光相对于第2区域的孔径的边缘移动的移动控制, 检测控制,用于使检测器检测第二区域中的光强度的变化;以及计算控制,用于基于光强度的变化来计算第二区域中的聚焦光的相对位置。 |