| 一种适用于扫描电镜与光学相机联用的样品定位导航装置 |
| CN202121469530.2 2021-6-30 实用新型 |
| 2022-7-5 |
| 本实用新型公开了一种适用于扫描电镜与光学相机联用的样品定位导航装置，属于扫描电镜分析装置技术领域，包括扫描电镜装置、外置光学成像设备及电脑；扫描电镜装置与外置光学成像设备均与电脑连接，实现数据互通；所述扫描电镜装置由主机及样品交换仓组成，样品交换仓位于主机上，样品交换仓内设置有样品台。所述外置光学成像设备用于采集样品台全貌图。通过分别采集扫描电镜图像和样品台全貌图的对应三对点，完成对中，实现样品定位和导航。此装置不改造电镜结构，不受特定样品台限制，不额外占用空间，不需要坐标数据处理系统。即可低成本运行在现有设备上，随时导航和定位样品。尤其擅长解决样品数目过多的情况，节约时间，便捷灵活。 |
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