| 一种密封结构及扫描电镜 |
| CN202123218308.8 2021-12-20 实用新型 |
| 2022-7-5 |
| 本申请公开了一种密封结构及扫描电镜，涉及真空密封技术领域，用于对腔室上供物体进出的传送通道进行密封，腔室的腔室壁上，围绕传送通道的通道口设置有固定密封面；密封结构包括有活动地连接在腔室壁上的密封部件，密封部件设置有移动密封面，密封部件移动来打开或闭合传送通道，且闭合通道口时，移动密封面与固定密封面压抵贴合而密封通道口。本申请提供的密封结构，以在保证密封及隔离效果的基础上，解决现有技术中通道的开闭及密封操作不够简便快速而对真空环境造成较大破坏性的问题，同时，该结构适用于相邻两个腔室之间的密封隔离。 |
微信公众号