| 具有恒定接触力的振动扫描探针 |
| CN200810090086.6 2008-4-2 发明申请 |
| 2008-10-8 |
| 本发明涉及一种使用扫描探针(2)对工件表面进行扫描的方法，所述扫描探针(2)安装在坐标测量机(4)上的支撑件(3)上。支撑件包含驱动装置(5、7)，用于致动扫描探针(2)相对于支撑件(3)的运动。所述方法进一步包括：检测装置(9)，其测量施加在探针末梢(10)和表面(1)之间的接触力F；控制装置(13)，其连接到驱动装置；和存储装置(14)，其用于存储表面的理论轮廓(19)和坐标(20)。该方法的特征在于：控制装置(13)沿着扫描路径(18)调节驱动装置(5、7)的致动，以便在沿着扫描路径(18)的整个扫描操作期间将接触力(11)保持在预定数值范围(15)内。 |
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