| 探针头用于一个坐标测量机 |
| JP2004545866 2003-10-16 发明申请 |
| 2006-2-2 |
| 要解决的问题 : 低的成本，高-分辨率在一个坐标方向上测量3。溶液 : 外壳12弹性地悬挂在一探针18配备有一探针头10用于一个坐标测量机。所述壳体12构成所述传感器26，用于检测一偏差的所述探头18。所述传感器26所述的结构，所述磁体和所述磁铁34是设置得靠近所述霍尔元件36和至少一个霍尔传感器具有1。所述探头18被偏置和，所述磁铁的N和S极34和极磁铁34被定义的通过所述霍尔元件36在轴向方向沿所述侧及其。所述霍尔电压的极性的变化是通过获得所述霍尔元件36。所述霍尔电压极性反转在该点的附近，其中所述线性范围，探针18是处理作为一个代表该偏差量。 |
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