| 一种扫描电镜中的扫描透射成像装置 |
| CN202210329055.1 2022-3-31 发明申请 |
| 2022-7-1 |
| 本发明公开了一种扫描电镜中的扫描透射成像装置，包括样品台、固定座、支撑框和背散射电子探头；样品台设置于支撑框顶端，用于固定待观察样品；背散射电子探头设置于固定座上，用于接收穿过待观察样品的透射散射电子；固定座设置于支撑框内，并与支撑框连接，用于调节背散射电子探头距样品台的距离。本发明使用扫描电镜自带的背散射电子探头做透射散射电子信号探测器，无需单独购买STEM附件，可大幅降低扫描电镜升级扫描透射成像功能的成本；固定座可在支撑框内上下滑动，从而改变透射散射电子接收角的大小，实现高、低角环形暗场像的采集。本发明可显著减少电子束对待观察样品的损伤，适合于耐电子束辐照性较差样品的透射分析。 |
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