电容性探针的标定
 
DE69132243  1991-10-2  发明授权

2000-7-6
 
  一电容探针26是一种坐标测量机或机上使用的工具,以确定所述探针之间的距离和一工件表面30。以校准它,它被移向和\/或离开所述表面,和一个串联读数电容与移动距离的被拍摄的。然后这些可被用于确定校准值,例如使用一“最佳配合”算法与该电容与所述移动距离有关的一个方程,可以获得不同的校准值用于所述表面上的不同点,以考虑不同的局部形状在每个点。
 
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