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2
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3
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4
生物医药产业抗体药物专利
坐标测量机的测量头
EP95109498 1995-6-20 发明授权
2001-8-1
该扫描头具有柔性部件(10),该柔性部件能够在不同方向上跨越引导系统偏转。 力发生器直接布置在导向器处,用于不同的方向(x,y,z)。 用于在规定方向上固定或夹紧柔性部件的单元包括电子调节电路(43),该电子调节电路接通力发生器上的信号,该信号与柔性部件的偏转相反地对准。 扫描头包括用于柔性部件的一个或多个电磁阻尼单元(29,图3)。 “图像”
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