| 带电粒子显微镜及载物台 |
| WOJP20048445 2020-12-24 发明申请 |
| 2022-6-30 |
| 该带电粒子显微镜具备安装在镜筒内的电子枪，载物台20等。 在载物台20上，可以安装保持样品SAM的样品保持器30。 另外，载物台20包括环形的粗移动载物台构件21a和细移动载物台构件21b。 X粗动致动器22a和Y粗动致动器23a连接到粗动台构件21a。 X微动致动器和Y微动致动器与微动台构件连接。 第1可动范围比第2可动范围宽，在第1可动范围中，X粗动致动器22a和Y粗动致动器23a可使粗动台构件21a移动，在第2可动范围中，X粗动致动器22a和Y粗动致动器23a可使细动台构件21b移动。 微动致动器22b和Y微动致动器23b。 由此，能够提高带电粒子显微镜的性能。 |
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