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用于坐标测量机探针的模块化配置

EP22213152 2022-12-13 发明申请

2023-6-28

一种用于坐标测量机的扫描探针的模块化配置包括触针悬置模块、触针位置检测模块、以及信号处理和控制电路模块。所述触控笔位置检测模块构成为，在安装于所述触控笔悬挂模块之前，与所述触控笔悬挂模块分开组装。信号处理和控制电路模块被配置为在刚性地耦合到触控笔位置检测模块作为组装扫描探针的一部分之前，与触控笔位置检测模块和触控笔悬置模块分开组装。