| 用于执行点自聚焦类型测量操作的带视觉探针的坐标测量机 |
| CN202110574684.6 2021-5-25 发明申请 |
| 2021-12-3 |
| 提供了一种坐标测量机(CMM)系统，其包括利用视觉探针(例如，用于执行用于确定和/或测量工件的表面轮廓的操作等)。可以使用旋转机构调节视觉探针的角度方向，以使视觉探针的光轴指向工件的成角度表面(例如，在某些实施方式中光轴可以近似垂直于成角度的工件表面)。x轴、y轴和z轴滑动机构(例如，在相互正交的方向上移动)可以一起将视觉探针沿图像堆叠采集轴(其可与光轴大致重合)移动到采集位置以采集成角度的工件表面的图像堆叠。聚焦曲线数据可以从对图像堆叠的分析确定，该分析指示工件的成角度的表面上的表面点的3维位置。 |
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