| 具有用于执行离焦点式测量操作的视觉探头的坐标测量机 |
| JP2021085752 2021-5-21 发明申请 |
| 2021-12-13 |
| [挑战]提供了一种包括使用视觉探头的坐标测量机(CMM)系统(例如， 以执行确定和/或测量工件表面轮廓的动作)。解决方案： 可以使用旋转机构调节视觉探头的角度方向，使得视觉探头的光轴指向工件的倾斜表面(例如， 在一些实施例中，光轴可以相对于倾斜的工件表面几乎完善)。 X轴， Y轴， 和Z轴滑动机构(例如， 在相互垂直的方向上移动)可以共同工作以将视觉探头沿着图像堆叠获取轴(其可以大致与光轴匹配)移动到图像获取位置，用于获取倾斜工件表面上的图像堆叠。 “选择图形”图1A从图像堆栈的分析可以确定表示工件的倾斜表面上的表面点的三维位置的聚焦曲线数据。 |
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