| 共焦位移计 |
| JP2020171909 2020-10-12 发明授权 |
| 2021-11-24 |
| 本发明提供一种能够减小测量误差的共焦位移传感器。 具有多个波长的光由光处理部分120发射。 在由投光部射出的光中，透镜部产生沿光轴方向的色差。 具有色差的光由透镜单元220会聚并照射到测量对象S上。 在由透镜单元220照射到测量对象S上的光中，具有在聚焦到测量对象S的表面上时反射的波长的光穿过多个针孔。 运算处理部根据与通过多个针孔的多个光的各波长的强度的平均值相对应的平均信号的各波长的信号强度，计算测量对象物的位移。 |
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