| 共焦位移型阻尼器 |
| KR1020187017498 2016-12-21 发明申请 |
| 2018-9-5 |
| 本发明提供一种共焦式位移传感器,能够减小测量误差。具有多个波长的发射光通过光处理部(120)。沿光轴方向产生色差的透镜单元(220)中发出的光投光部(120)。具有色差的光会聚并照射测量对象上的透镜单元(220)。在测量对象上照射的光的透镜单元(220),具有波长光被反射而聚焦在所述测量对象S的表面通过多个小孔。通过计算h-s位移的测量对象,通过运算处理部(150)的信号强度的基础上,对于每个波长相对应的平均的平均信号强度有关的每个波长的多个光通过所述多个小孔。 |