| 组合减振装置和扫描电镜 |
| CN202210193563.1 2022-3-1 发明申请 |
| 2022-6-24 |
| 本发明公开了一种组合减振装置和扫描电镜，减振装置包括：支架，支架的中部限定有安装空间；波纹管，波纹管的一部分设于安装空间且波纹管的两端与支架配合，波纹管的两端分别设有安装座；其中，支架在波纹管的轴向上可伸缩，波纹管的外壁面形成有内凹的间隙，间隙内设有弹性填充件。根据本发明实施例的组合减振装置，通过设置波纹管、弹性填充件，通过波纹管的伸缩来吸收真空泵运作过程中传递到样品室的振动，实现减振效果，并通过弹性填充件可以缓冲波纹管的压缩，可以进一步提升整体结构的减振效果，且可在波纹管轴向伸缩的支架也可以降低真空泵运转过程中振动对扫描电镜性能的影响，整体结构简单，装配方便，便于在扫描电镜上的装卸。 |
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