| 带电粒子显微镜用无磁场样品平面 |
| US17130987 2020-12-22 发明申请 |
| 2022-6-23 |
| 本发明公开了一种用于带电粒子显微镜的可调无磁场物镜。 示例性带电粒子显微镜至少包括布置在样品平面的相对侧上的第一和第二光学元件，布置在样品平面周围的第三光学元件，以及被耦合以控制第一，第二和第三光学元件的控制器。 控制器被耦合以激励第一和第二光学元件以产生第一和第二磁性透镜， 第一和第二磁性透镜形成在样品平面的相对侧上，并在相同方向上取向， 激发第三光学元件在样品平面上产生第三磁性透镜，第三磁性透镜的方向与样品平面的方向相反， 其中第三光学元件的激励与第一和第二光学元件的激励之比调节样品平面处的磁场。 |
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