| 表面轮廓仪 |
| US12115955 2008-5-6 发明授权 |
| 2011-5-24 |
| 宽带光沿着样品和参考路径被引导，使得被样品表面反射的光和被参考表面反射的光干涉。 移动器实现样品和基准面之间沿扫描路径的相对移动。 检测器感测一系列光强度值，所述光强度值表示在移动期间由样品表面区域产生的干涉条纹。 数据处理器处理接收到的强度值以产生相干峰值位置数据，并且在完成测量操作之后，使用该相干峰值位置数据来获得指示表面区域的高度的数据。 该数据处理器包括相关器，用于将强度值与相关函数数据相关，以提供相关数据，从而能够识别相干峰的位置。 表面形貌确定器根据相干峰值位置数据确定样品表面区域的高度。 |
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