| 坐标测量机 |
| CN201280015826.4 2012-3-27 发明申请 |
| 2013-12-25 |
| 本发明涉及一种用于确定被测量的物体上的测量点的至少一个空间坐标的坐标测量机，该坐标测量机具有第一框架元件(11)，第二框架元件(4)，用于沿运动方向相对于所述第一框架元件(11)移动所述第二框架元件(4)的具有马达的线性驱动单元(7)，以及用于确定所述第二框架元件相对于所述第一框架元件的驱动位置的位置测量仪器。其中所述驱动单元具有有限刚度和运动时的动态偏转。所述测量机包括从所述驱动单元(12)到所述第二框架元件(4)的机械联接器(3)，所述联接器(3)包括固定至所述驱动单元(12)的第一部分(3A)和固定至所述第二框架元件(4)的第二部分(3B)，这两个部分(3A、3B)能借助主动补偿致动器(5)相对于彼此移动。所述主动补偿致动器(5)被构建成对着所述驱动单元(12)偏移所述第二框架元件(4)以引入相反位移使得所述动态偏转至少部分地被补偿。 |
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