| 三坐标测量机 |
| US14002089 2012-3-27 发明申请 |
| 2014-1-9 |
| 一种坐标测量机，具有第一框架元件、第二框架元件、线性驱动单元和位置测量仪器，所述线性驱动单元具有用于使第二框架元件相对于第一框架元件移动的马达，所述位置测量仪器用于确定第二框架元件相对于第一框架元件的驱动位置。 驱动单元在运动时具有有限的刚度和动态偏转。 所述机器包括从所述驱动单元到所述第二框架元件的机械耦合器，所述耦合器包括固定到所述驱动单元的第一部分和固定到所述第二框架元件的第二部分，所述第一部分和固定到所述第二框架元件的第二部分可通过主动补偿致动器彼此相对移动。 所述主动补偿致动器以这样的方式构建，以使所述第二框架元件抵靠所述驱动单元移动，从而以这样的方式引入反向位移，即所述动态偏转被至少部分补偿。 |
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