| 一触摸探针 |
| JP2013025516 2013-2-13 发明申请 |
| 2013-9-2 |
| 要解决的问题 : 在所述空间强度分布的光学图像传感器，一接触探头的变化根据所述的位移传感器。溶液 : 该接触式探针，和一个固定构件，1或由多个的弹性元件400，是保持在一固定位置与相对于一固定部件，在根据所述力与所述的偏差，其可以可以从一个静止位置和所述测头100移动，以一固定部件到所述探头100的位移通过一系统包括一光源68和驱动，通过该光发射源68和其接收所述光学图像传感器，和一个光学图像传感器61之间的所述光学路径中插入源68和包括一个光掩模65。选择的绘制 : 图。8 |
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