一个加速度计的性能曲线。
 
JP2013543130  2010-12-8  发明申请

2014-2-20
 
  一个加速度计包括一弹性基板的光束具有一第一端和一第二端和具有上和下表面上,支持以支撑该基板第一和第二的端部束,感测元件包括压电材料粘结到所述上,下或所述基板的两个所述上和下表面的光束,和用于施加力施加元件第一和第二端部之间的力在两个位置。所述基板束和所述压电材料的操作在一四-点弯曲配置。任选的第一和第二所述基板的端部束是通过弯曲所述基板形成光束以减少该装置的所述的物理尺寸。
 
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