| 制造过程设备 |
| US12971466 2010-12-17 发明授权 |
| 2013-11-5 |
| 一种制造过程设备，具有平台组件、测量反馈组件和激光加工组件。 平台组件具有基座和混合移动平台。 底座有一个安装架。 混合移动平台安装在底座上，具有长行程移动台和压电驱动微台。 长行程移动台具有基准装置和驱动装置。 压电驱动微工作台与长行程移动工作台连接，并具有工作平台。 测量反馈组件牢固地安装在平台组件上，并具有激光干涉仪、反射装置和信号接收装置。 激光加工组件安装在平台组件上，与测量反馈组件电连接，具有激光直写头、控制接口装置和定位接口装置。 |
微信公众号