| 一种测量扫描电镜样品台上多个样品水平高度的装置 |
| CN202210290244.2 2022-3-23 发明申请 |
| 2022-6-14 |
| 本发明涉及扫描电镜测试技术领域，具体的说是一种测量扫描电镜样品台上多个样品水平高度的装置，包括测量装置底座、两个支撑杆和可拆卸的上部测量盘，所述测量装置底座为圆形结构，两个支撑杆均呈竖直设置。本发明的有益效果是：本发明结构简单，配件所需原料廉价易得，组装方便，测量装置的稳定好，实用性强。本发明测量装置具备以下功能：可以将多个不同高度样品的最高点调至同一水平面上；测量出固定试样扫描电镜测试样品台的真实高度。可以解决置于样品台上不同高度样品不能同时用较小工作距离测试的问题。通过此测试装置测量出试样与样品台系统的真实高度，则可以设置样品台能上升至最小工作距离且不会碰撞到镜筒极靴的安全距离。 |
微信公众号