| 用于在原子力显微镜中识别探针类型的装置和方法 |
| KR1020200168485 2020-12-4 发明申请 |
| 2022-6-14 |
| 提供了根据本发明的一个实施例的用于识别原子显微镜中的探针类型的装置和方法。 根据本发明的一个实施例的用于识别原子显微镜中的探针类型的装置是探针，其被配置为跟随所述表面以获得所述测量对象的所述表面的特征； 用于获得探头的视觉图像的非视觉部分； 以及探头和可操作地连接到非功能单元的控制单元， 控制器被配置为基于所获得的视觉图像来确定探头的形状，计算用于所确定的探头的形状的特征数据，以及基于所计算的特征数据来确定探头的类型。 |
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