| 工业机械 |
| CN201710456419.1 2017-6-16 发明申请 |
| 2017-12-29 |
| 本发明提供一种工业机械。该工业机械简单且高精度地计算由工件的载荷引起的引导部的变形量。该三维测量装置(1)包括：立柱(22)，其相对于载置工件的载置面(11)能够相对移动；引导部(12)，其设于载置面(11)上，引导立柱(22)；直线编码器(50)的标尺(52)，其被支承在引导部(12)的侧面(12a)；以及检测器(56、57)，其设于立柱(22)，检测与标尺(52)之间的相对位移，其中，检测器(56、57)分别检测立柱(22)的移动方向以及铅垂方向上的位移，该工业机械还包括变形量计算部(943)，该变形量计算部(943)根据检测器(56、57)的检测结果，获取引导部(12)相对于标尺(52)的相对的变形量。 |
微信公众号