| 存储在倾角量计算装置，样品台，扫描电子显微镜和计算机可读存储介质中的计算机程序 |
| KR1020197038606 2018-5-31 发明授权 |
| 2022-6-14 |
| 用于将带电粒子线入射到样品台上方的Witty样品表面的带电粒子线装置中， 是改变带电粒子线在样品上的入射方向所需的样品和/或带电粒子线， 一种用于计算倾斜角量的装置，该倾斜角量是用于控制倾斜方向和倾斜角量的命令， 水晶天线， 该图像表示在带电粒子线向试样的入射方向为规定的入射方向的状态下，表面的所选择的位置的带电粒子线向晶体的晶体坐标系的入射方向， 一种倾斜角度量输出装置，具有倾斜角度量输出单元，该倾斜角度量输出单元基于指示用于确定带电粒子线的入射方向的信息来计算倾斜角度量。 |
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