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工业机械
JP2016119797 2016-6-16 发明授权
2020-8-12
一种坐标测量机,包括:立柱,该立柱能够相对于放置工件的放置表面移动; 设置在载置面上的引导部; 引导柱的引导部分,支撑在引导部分的侧表面上的线性编码器的刻度,以及设置在柱上的检测器,检测器检测相对于刻度的相对位移。 检测器检测柱在移动方向和垂直方向中的每一个上的位移。 坐标测量机还包括变形量获取部,该变形量获取部基于检测器的检测结果获取引导部相对于标尺的变形量。
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