| 三轴的薄-膜加速度计 |
| JP2007063974 2007-3-13 发明申请 |
| 2007-9-27 |
| 要解决的问题 : 提出一种结构的一个加速度计，在一个三轴加速计，以便限制的缺点所述的传统技术，其包括一梳形的相互电容拟合包括一可动板，其被分隔在所述一基板的附近，一个可弹性变形的薄-膜有关的所述基板上方的悬浮到与所述基板连接涉及在该周边，一振动质量有关的物体悬浮在该膜以与所述膜连接涉及在一个中心柱，和所述质量对象有关的关注与所述基板和一固定板连接。溶液 : 该加速度计的结构的微处理与微电子技术，该加速度计是配备有一梳形的相互电容拟合(P1至P8)包括一可动板，其被分隔在所述一基板(10)的附近，一个可弹性变形的薄-膜(12)悬浮在该衬底到关注与所述基板连接在所述的周边，一振动质量有关的物体(M)悬浮在该膜以与所述膜连接涉及在一中心柱(14)，和该质量对象有关的关注与所述基板和一固定板连接。各种两个梳形固定板(AF1和af3)和可动板(AM1和am3)具有高度差，以帮助以区分所述向上和向下的垂直加速度。版权 : (C)2007，inpit |
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