| 原子力显微镜，控制方法和程序 |
| WOJP21043162 2021-11-25 发明申请 |
| 2022-6-9 |
| 该原子力显微镜(10)包括：悬臂(11)，其具有向下方突出的探针(12)； 试样保持部(18)，其以试样与悬臂(11)相对的方式保持试样(99)； 驱动单元(17)，其驱动悬臂(11)和样品保持部分(18)中的至少一个，使得样品(99)相对于探针(12)移动； 以及控制单元(例如，PC(15))，其控制驱动单元(17)，使得样品(99)的表面被探针(12)扫描。 在样品(99)相对于探针(12)从一端侧移动到另一端侧的第一方向扫描中， 控制单元将样品(99)和探针(12)一起带到第一距离，并以第一速度扫描样品(99)。 在样品(99)相对于探针(12)从另一端侧移动到一端侧的第二方向扫描中， 控制单元将样品(99)和探针(12)移动到比第一距离远的第二距离，并且以比第一速度快的第二速度扫描样品(99)。 |
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