| 具有自洁式空气轴承的坐标测量机 |
| CN202010253601.9 2020-4-2 发明申请 |
| 2020-10-20 |
| 本发明提供具有自洁式空气轴承的坐标测量机，其包括：工作台，其具有接收待测量物体的表面；测量探针；包括具有空气轴承的测量轴线的运动系统，其构造成改变工作台和测量探针之间的相对位置；控制单元，其构造成确定测量探针在参考系中的位置并作为测量结果输出该位置，第一空气轴承包括：导轨；滑动件，其包括滑动表面和在滑动表面内的气体出口，该出口构造成由第一气体供应管线供应，并在滑动表面和导轨之间的间隙中提供气垫；盖，盖围绕滑动件布置而在盖和导轨之间提供间隙并在盖和滑动件之间提供中空空间；擦拭器，其布置在盖上并使盖和导轨之间的间隙变窄或闭合；喷嘴单元，其构造成由第二气体供应管线供应并提供引导到导轨上的高压气流。 |
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