| 轮廓测定仪 |
| EP11174025 2011-7-14 发明申请 |
| 2012-1-25 |
| 一个坐标测量机包括一个探头具有一测量单元，一用于移动所述探头移动机构和一个主机计算机(5)用于控制所述运动机构。所述主机计算机(5)包括 : 一个补偿量计算单元(532)用于计算一补偿量用于补偿误差在该位置通过所述的运动引起所述测量单元的所述探针; 和一个补偿器(533)用于补偿该误差在该位置的所述测量单元基于该补偿通过所述补偿量计算量计算单元(532)。所述补偿量计算单元(532)计算一个翻译-用于补偿平移误差的补偿量所述探头和一个旋转-用于补偿一旋转误差的补偿量基于所述探针在一个旋转频率的所述的移动所述探针。 |
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