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三维坐标测量机
US14324764 2014-7-7 发明申请
2016-1-7
一种三维坐标测量机,包括基座、设置在基座上的移动机构和由移动机构移动的探头,所述三维坐标测量机使用所述探头测量待测物体的表面位置的坐标,所述移动机构包括 : 使用机械轴承的线性引导件; 和与直线导轨平行地设置的空气轴承机构,移动部的一端安装在通过直线导轨移动的直线移动单元上,另一端安装在空气移动部上,使得另一端能够相对于空气移动部摆动,空气轴承机构吸收直线导轨和空气轴承机构之间通过空气轴承的高度变化的差异。
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