| 耦合反射和透射光路的原子力显微镜 |
| CN202210068408.7 2022-1-20 发明申请 |
| 2022-6-7 |
| 本发明提供一种耦合反射和透射光路的原子力显微镜，包括腔体、探针、制冷系统和光学系统，腔体设有真空腔，真空腔用于容纳样品和探针，探针用于对样品表面进行探测；制冷系统用于给样品和探针制冷；光学系统包括一对视窗组件和一对物镜，视窗组件包括中空壳体和用于封闭中空壳体第二端的透光盖板，中空壳体的第二端伸入腔体内，两个透光盖板平行对称设置，样品和探针位于两个透光盖板之间；一对物镜分别设在一对中空壳体内，两个物镜平行对称设置，样品能够与物镜的轴线垂直。将传统物镜与超高真空超低温原子力显微镜的探针耦合，且激光能够垂直入射同时满足反射光路和透射光路的探测条件。 |
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