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产业专利数据

1 科学仪器产业专利
2 动物模型与化药新药专利
3 骨诱导再生材料专利
4 生物医药产业抗体药物专利

用于确定校正值的过程用于所述一基板上的结构的位置的测量值

DE102007033619 2007-7-17 发明授权

2009-12-24

一种方法用于分配所述一基板的弯曲的程度的校正值(2)相对于一个坐标系统(40)的一种坐标测量机(1)被公开。所述的所述至少两个参考位置标记(32)在所述衬底保持器(27)被自动确定的相对以该坐标系统(40)的所述坐标测量机(1)，用于每个衬底(2)当前放置在所述基板夹持器(27)在所述坐标测量机(1)。