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激光干涉仪
US17411231 2021-8-25 发明申请
2022-3-3
一种激光干涉仪,包括发射第一激光的光源, 光调制器,其包括振动器,并通过使用振动器来调制第一激光,以产生包括调制信号的第二激光; 光检测器,其接收第三激光和第二激光之间的干涉光以输出光接收信号,所述第三激光包括通过在物体上反射第一激光而产生的样本信号; 解调电路,其基于参考信号从光接收信号解调采样信号;以及振荡电路,其将参考信号输出到解调电路,并且振动器是振荡电路的信号源。
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