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激光干涉仪
US18325729 2023-5-30 发明申请
2023-10-5
一种激光干涉仪,包括发射第一激光的光源、包括振动器并通过使用振动器调制第一激光以产生包括调制信号的第二激光的光调制器、接收第三激光和第二激光之间的干涉光以输出光接收信号的光电检测器、根据参考信号从光接收信号解调样本信号的解调电路,所述第三激光包括通过在物体上反射第一激光产生的样本信号; 以及振荡电路,向所述解调电路输出所述基准信号,所述振子是所述振荡电路的信号源。
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