| 一种原位扫描电镜用石墨烯液体室和硅片复合结构 |
| CN202123152215.X 2021-12-15 实用新型 |
| 2022-6-7 |
| 本实用新型涉及一种原位扫描电镜用石墨烯液体室和硅片复合结构，属于显微镜液体室技术领域。该液体室包括用于承装液体样本的液体室本体和液体样本，所述液体室本体内设有至少1个石墨烯铜网；所述石墨烯铜网位于液体样本与扫描电镜射出的电子束之间；所述液体室本体内设有硅片，所述石墨烯铜网粘贴在所述硅片上，所述硅片上设有通孔。本实用新型解决了传统的石墨烯液体室通过将石墨烯铜网对贴的技术手段所引发的石墨烯液体包容易损坏，且石墨烯液体室不能用于扫描电镜的技术问题。 |
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