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产业专利数据

1 科学仪器产业专利
2 动物模型与化药新药专利
3 骨诱导再生材料专利
4 生物医药产业抗体药物专利

加速度计及其制造技术

US14031613 2013-9-19 发明授权

2015-10-27

加速度计具有E形弹性梁以隔离应力和减少变形。顶盖硅晶片和底盖硅晶片均与测量质量耦合以形成电容器。测量质量块具有质量、运动范围止动件和位于支撑框架内的弹性梁。所述运动范围止动件通过连接梁耦合到所述支撑框架，并且所述质量块通过多组E形弹性梁耦合到所述运动范围止动件。每个弹性梁的端部连接到运动范围止动件，并且每个弹性梁的中间连接到质量块。