| 一种4.2K以下高真空低温原子力显微镜光路系统 |
| CN202210216589.3 2022-3-7 发明申请 |
| 2022-6-3 |
| 本发明涉及一种4.2K以下高真空低温原子力显微镜光路系统，该系统包括光纤激光准直光路系统、两套光学杠杆?激光光路XY移动轴本体、光杠杆结构笼体、四象限探测器。两套所述光学杠杆?激光光路XY移动轴本体上均设有安装孔总，其中一套所述光学杠杆?激光光路XY移动轴本体的安装孔总内插有所述光纤激光准直光路系统，另一套所述光学杠杆?激光光路XY移动轴本体的安装孔总内插有所述四象限探测器；所述光杠杆结构笼体的两侧分别与所述光学杠杆?激光光路XY移动轴本体相连，该光杠杆结构笼体的下部设有探针夹持器，上部设有金属反射镜。本发明实现了原子力显微镜在真空和低温条件下的便利化使用。 |
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