| 追踪式激光干涉仪 |
| CN200610107610.7 2006-7-26 发明申请 |
| 2007-1-31 |
| 一种追踪式激光干涉仪，向被测定体的后向反射 器照射激光束，利用后向反射器返回方向反射的激光束的干涉 检测后向反射器的位移，利用激光束光轴位置变化进行追踪， 其具有：固定设置的基准球；以基准球中心为中心转动的滑架； 设置在滑架上输出对应后向反射器位移的位移信号的激光干 涉仪以及输出对应基准球和位移计相对位移的位移信号的位 移计；从位移计输出的位移信号和激光干涉仪输出的位移信号 算出以基准球为基准的后向反射器位移的数据处理装置；输出 对应偏移量输出位置信号的位置检测装置；使偏移量为零控制 滑架转动的控制装置。相对旋转机构的径向跳动可靠，不易受 到基准球表面的瑕疵或尘埃的影响，实现了使用较廉价基准球 的追踪式激光干涉仪。 |
微信公众号