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三坐标测量机校准用光学板

US14582534 2014-12-24 发明授权

2016-6-21

一种坐标测量机，通过对光学平面进行光学测量来校准，该光学平面包括放置在其表面上的光栅。能够相对于物体进行多方向平移的CMM的臂装配有白光干涉物镜，并且在将物镜(或平面)在经过校准的坐标方向上平移的同时对平面进行光学测量。该物镜也可作为三坐标测量机的探针。