| 共焦位移换能器 |
| JP2017115552 2017-6-13 发明授权 |
| 2024-1-5 |
| 所述共焦位移传感器具备：投光用光源，其生成具有多个波长的光; 多个针孔; 光学部件，其使经由所述多个针孔分别射出的多个检测光产生轴上色像差，并使所述多个检测光向所述测定对象物会聚; 分光器，其使经由所述光学部件照射到所述测定对象物上的检测光分别分光， 多个检测光，在聚焦于所述测定对象的同时，通过被反射而分别通过所述多个针孔，生成表示每个波长的光接收强度的多个光接收波形，以及测定控制部，对所述多个光接收波形进行统计处理，根据所述多个光接收波形生成代表性的光接收波形。 |
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